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百盛光电请求晶圆片高精度厚度丈量设备专利有实际效果的削减杂质搅扰保证精度

    来源:快盈官方    发布时间:2025-08-19 04:03:06

  金融界2025年8月8日音讯,国家知识产权局信息数据显现,浙江百盛光电股份有限公司请求一项名为“一种晶圆片高精度厚度丈量设备”的专利,公开号CN120453184A,请求日期为2025年04月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆片高精度厚度丈量设备,触及半导体玻璃晶圆冷加工范畴,包含大理石渠道,所述大理石渠道设置有查验测验渠道,所述检测渠道包含支撑设备块,所述支撑设备块中心贯穿设置有旋转吸气口,所述支撑设备块顶部设置有旋转板,所述旋转板与旋转吸气口衔接,所述旋转板顶部设置有晶圆片,所述支撑块块底端设置有板板,所述大理石渠道上合作设备板设置有方位调理设备,所述板板上合作晶圆片设置有辅佐测厚设备。本发明经过辅佐测厚设备的清洁板和遮光罩等结构,旋转环环带动螺纹杆使清洁板上下清洁清洁晶圆片外表;激光宣布器合作滤波板产生光信号经导光口输出,有实际效果的削减杂质搅扰,保证精度精度。

  天眼查资料显现,浙江百盛光电股份有限公司,成立于2011年,坐落嘉兴市,是一家以从事非金属矿藏制品业为主的企业。企业注册资本5721.91万人民币。经过天眼查大数据分析,浙江百盛光电股份有限公司共对外出资了5家企业,参加招投标项目42次,专利信息143条,此外企业还具有行政许可11个。

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