金融界2024年12月24日音讯,国家知识产权局信息数据显现,上海奥茵绅机电科技有限公司获得一项名为“一种应用于半导体的龙门十字直驱渠道”的专利,授权公告号CN 222190628 U,请求日期为2024年1月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种应用于半导体的龙门十字直驱渠道,归于直驱电机技术领域,包含大理石渠道,还包含用于Y轴移动的Y轴驱动组件、用于X轴移动的X轴驱动组件、用于防尘的风琴罩、用于摇摆晶圆的晶圆装置组件、用于整理线路的接线组件和用于缓冲的缓冲组件,晶圆装置组件包含装置组件和摇摆组件。经过上述方法,本实用新型可以在晶圆查验测验过程中摇摆晶圆,可以使检测体系可以从不同的视点调查晶圆外表,确保查验测验体系可以全面、精确地查看晶圆外表的特征和缺点,来确保晶圆的质量和可靠性;使用时,将激光器、相机、光源线缆直接穿过走线孔连接到下方配电柜,走线简略、整齐。